洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
随着科学技能的发展，工业产品的更新换代很快，人们对生活质量要求也越来越高，工业洁净室净化工程、生物洁净室净化工程的建造一日千里，因此洁净室净化工程规划自身便具有高新技能、技能密集和资金密集的特点，为了进步洁净室净化工程建成后的技能经济效益，在进行洁净室净化工程规划时应设法尽可能地考虑一定的灵活性，以便使建成后的洁净室净化工程能跟着科学技能的发展能够随便地进行技能改造，适应产品换代或设备更新的要求。
在对洁净室净化工程车间进行洁净度检测时，虽然规则了空气的小采样量，但在实际工作中，咱们应在确保小采样量条件条件下，依据已有的检测设备，尽量选用大流量的尘土粒子计数器。假如取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，假如这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因此，净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有含义。
以上信息由专业从事邵阳净化工程设计施工厂家的云洁净化于2024/4/24 11:24:43发布
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